Nanoteknologi, 7,5 hp

Kursen beskriver processer och material inom mikrofabrikation (fotolitografi, olika typer av deponering och etsning av tunna filmer), nanofabrikationsprocesser (elektronstrålelitografi och etsning med hjälp av fokuserad jonstråle) och olika karakteriseringsmetoder och renrumsutrustning. Kursen behandlar fysiken bakom mikro/nanoteknologi (vakuum, plasma, elektronoptik, materialvetenskap, m.m.) och ger en överblick över den aktuella nanoforskningen och pågående utveckling av processer och material inom mikro/nanoteknologin.

Inom kort kommer mer information om utbildningen att finnas på den här sidan. Fram till dess finns informationen på ansvarig institutions egen webbplats.

Vet du vad du vill läsa?

Sök bland kurser och program

Vad finns att läsa på SU?

Alla våra ämnen